[发明专利]一种直写式曝光机的曝光方法在审
| 申请号： | 201910422841.4 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110187608A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 钱志斌;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种直写式曝光机的曝光方法，所述曝光方法包括如下步骤：（1）上板操作：移栽机从上一工序中运送基板至所述基板承载台面上；（2）对位操作：所述基板承载台面移动至对位系统下方进行对位操作；（3）曝光操作：所述基板承载台面移动至曝光机构的初始位置，曝光机构对所述基板进行曝光；（4）下板操作：曝光完成后，移栽机将基板运送至下一工序；（5）回位操作：所述步进轴运动组件带动所述基板承载台面退回到初始位置。所述曝光方法更加有利于应用于全自动化的方式。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 基板承载 台面 对位操作 曝光机构 曝光机 移栽机 直写 基板承载台 对位系统 基板运送 曝光操作 全自动化 运送基板 组件带动 位操作 轴运动 移动 步进 基板 上板 下板 应用 | ||
【主权项】：
1.一种直写式曝光机的曝光方法，其特征在于：所述曝光方法包括如下步骤：上板操作：移栽机从上一工序中运送基板至所述基板承载台面上；对位操作：所述基板承载台面移动至对位系统下方进行对位操作；曝光操作：所述基板承载台面移动至曝光机构的初始位置，曝光机构对所述基板进行曝光；下板操作：曝光完成后，移栽机将基板运送至下一工序；回位操作：所述步进轴运动组件带动所述基板承载台面退回到初始位置。
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