[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 201910428273.9 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110608178A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 真锅雅嗣;斎藤英文 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/063;F04D27/00 |
| 代理公司： | 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能对在真空环境下高速旋转的滚动轴承稳定地提供适当量的润滑流体的真空泵。真空泵包括：轴承(8)，支撑设有泵转子(3)的轴(10)；润滑流体蓄积部(60)，蓄积向轴承(8)提供的润滑流体；MEMS元件(40)，形成有将润滑流体蓄积部(60)的润滑流体移送至轴承(8)的微小流量泵(401)；及作为毛细管结构的流路的吸引管(61)，利用毛细管力使润滑流体蓄积部(60)的润滑流体移动至微小流量泵(401)。 | ||
| 搜索关键词： | 润滑流体 蓄积 轴承 微小流量 真空泵 滚动轴承 毛细管结构 毛细管力 真空环境 泵转子 吸引管 流路 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，其特征在于，包括：/n滚动轴承，支撑设有泵转子的旋转轴；/n润滑流体蓄积部，蓄积向所述滚动轴承提供的润滑流体；/n微机电系统元件，形成有将所述润滑流体蓄积部的润滑流体移送至所述滚动轴承的微小流量泵；及/n毛细管结构的第一流路，利用毛细管力使所述润滑流体蓄积部的润滑流体移动至所述微小流量泵。/n
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