[发明专利]基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法在审
| 申请号： | 201910434628.5 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110534455A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 伊藤泉;水谷友哉 | 申请（专利权）人： | 昕芙旎雅有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强;杜嘉璐<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法。能预测伴随使用的劣化等引起的FOUP等基板收纳容器的更换时期的基板收纳容器管理系统不是应用设置传感器等设备类的基板收纳容器、而是应用现在通用的基板收纳容器来实现。通过能进行使基板(W)相对于具有搬出搬入口(41)的基板收纳容器即FOUP(4)出入的处理的装载端口(2)，读取附加于FOUP的个体识别用ID(4x)，将个体识别用ID和设于装载端口的传感器(2c)的传感器值发送至上位系统(C)，在上位系统将个体识别用ID和传感器值相互关联，储存并储备在数据库(Cd)，解析数据库内的数据并输出每个个体识别用ID的FOUP的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 基板收纳容器 个体识别 传感器 装载端口 管理系统 数据库 读取 上位系统 搬入口 通用的 搬出 基板 劣化 解析 应用 储存 发送 关联 储备 输出 预测 管理 | ||
【主权项】：
1.一种基板收纳容器管理系统，其特征在于，具备：/n装载端口，其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理，具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器；/n关联机构，其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来；/n数据库，其储备由上述关联机构关联了的数据；以及/n数据处理部，其解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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