[发明专利]一种硅片脱胶机及其控制方法

摘要

本发明提供一种硅片脱胶机，包括一级过滤箱与一槽连通，用于回收一槽排出的废水；二级过滤箱与一级过滤箱连通，用于过滤一级过滤箱排出的水；三级过滤箱分别与二级过滤箱和三槽连通，用于过滤二级过滤箱排出的水和回收三槽排出的废水；储水箱与三级过滤箱和一槽连通，用于储存从三级过滤箱排出的水，并向一槽提供喷淋水；加热器设置在储水箱和一槽之间，用于加热从储水箱排出的水；纯水源向储水箱补给喷淋水；控制器通过设置在一槽、二槽和三槽中的位置传感器以检测有无硅片在喷淋槽中喷淋，从储水箱和/或纯水源中排出喷淋水。本发明还提出一种硅片脱胶机的控制方法。本发明可改善硅片表面质量，喷淋水可循环利用,降低生产成本，提高产品质量。

主权项

1.一种硅片脱胶机，包括依次设置的一槽、二槽和三槽，其特征在于，还包括：一级过滤箱：所述一级过滤箱与所述一槽连通，用于回收所述一槽排出的废水；二级过滤箱：所述二级过滤箱与所述一级过滤箱连通，用于过滤所述一级过滤箱排出的水；三级过滤箱：所述三级过滤箱分别与所述二级过滤箱和所述三槽连通，用于过滤所述二级过滤箱排出的水和回收所述三槽排出的废水；储水箱：所述储水箱与所述三级过滤箱和所述一槽连通，用于储存从所述三级过滤箱排出的水，并向所述一槽提供喷淋水；加热器：所述加热器设置在所述储水箱和所述一槽之间，用于加热从所述储水箱排出的水；纯水源：与所述二槽、所述三槽和所述储水箱连通，用于向所述二槽和所述三槽提供喷淋水，向所述储水箱补给喷淋水；所述一级过滤箱、所述二级过滤箱、所述三级过滤箱和所述储水箱均设有水泵、控制阀和液位传感器；控制器：用于控制所述水泵和所述控制阀的工作状态，并通过设置在所述一槽、所述二槽和所述三槽中的位置传感器以检测有无硅片在喷淋槽中喷淋，从所述储水箱和/或所述纯水源中排出喷淋水。