[发明专利]一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备

摘要

本发明公开了一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备，所述结合结构包括：底板；内管，所述内管焊接在所述底板上，所述内管的上表面与所述底板的上表面焊接，所述底板的下表面与所述内管的外侧壁焊接，所述内管包括在上的排水段和在下的柔性段，所述柔性段与排水段的内侧壁光滑连接，所述柔性段的外径小于所述排水段的外径；以及外管，所述外管固定在所述底板下部且套设在所述内管外部，所述外管包括在上的接头段和在下的导水段，所述导水段的顶端与所述接头段的底端连接，所述接头段的内径大于所述排水段的外径。本发明的有益效果为能够有效防止泄漏，从而不会因为泄漏造成设备的暂停维修而造成损失。

主权项

1.一种双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述结合结构包括：底板（1）；内管（2），所述内管（2）焊接在所述底板（1）上，所述内管（2）的上表面与所述底板（1）的上表面焊接，所述底板（1）的下表面与所述内管（2）的外侧壁焊接，所述内管（2）包括在上的排水段（21）和在下的柔性段（22），所述柔性段（22）与排水段（21）的内侧壁光滑连接，所述柔性段（22）的外径小于所述排水段（21）的外径；以及外管（3），所述外管（3）固定在所述底板（1）下部且套设在所述内管（2）外部，所述外管（3）包括在上的接头段（31）和在下的导水段（32），所述导水段（32）的顶端与所述接头段（31）的底端连接，所述接头段（31）的内径大于所述排水段（21）的外径，所述导水段（32）的内径小于所述排水段（21）的外径且大于所述柔性段（22）的外径，所述接头段（31）的底部高度在所述柔性段（22）的顶端和底端两者高度之间。