[发明专利]正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物在审
| 申请号： | 201910444673.9 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110209014A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 井手正仁;稻成浩史;北岛亚纪;田原孔明;真锅贵雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/039;H01L23/29;H01L29/51;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物，第一本发明的正型感光性组合物包含：(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；(C)硅氢化催化剂；及(D)光产酸剂。 | ||
| 搜索关键词： | 正型感光性组合物 烯基 电绝缘可靠性 硅氢化催化剂 薄膜晶体管 图案形成性 光产酸剂 酸性基团 固化物 羟基 薄膜 分解 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性组合物，其包含：(G)具有下述式(X1)或式(X2)所示结构的化合物、(H)具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构的化合物、以及(D)光产酸剂，![]()
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