[发明专利]静电卡盘单元在审
| 申请号： | 201910461585.X | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110690156A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 高晙赫;金义圭;宋珉澈;孔炳翼;文在晳;闵秀玹;李丞赈;洪承柱 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了静电卡盘单元。静电卡盘单元包括配置成产生相对弱的静电力的第一布线部分和配置成产生相对强的静电力的第二布线部分。 | ||
| 搜索关键词： | 静电卡盘 静电力 布线 配置 | ||
【主权项】：
1.静电卡盘单元，包括∶/n静电卡盘主体，包括第一布线部分和第二布线部分，所述第一布线部分和所述第二布线部分各自包括多条布线，所述多条布线配置成产生静电力以通过所述静电力在基板与掩模之间产生吸引力，/n其中，所述第一布线部分配置成产生比所述第二布线部分更弱的静电力。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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