[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法有效
| 申请号： | 201910467958.4 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110548658B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 富藤幸雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减压干燥装置，在通过减压使基板上的处理液干燥时，能够减少处理液中的干燥不均的发生。在腔室(10)内的底面(100)设置有凹部(12)，在该凹部(12)的底面(120)设置有排气口(14)。在容纳空间(10S)中的Z轴方向(凹部(12)的深度方向)上与排气口(14)重叠的位置设置有第一整流板(30)。在Z轴方向(凹部(12)的深度方向)上与第一整流板(30)的端部(‑X侧端部(32a)或者+X侧端部(32b))及凹部(12)的内缘部(‑X侧缘部(124a)或者+X侧缘部(124b))重叠的位置设置有第二整流板(40)。多个保持部(52)在第一整流板(30)及第二整流板(40)的上方的位置(上位置(L1)或者下位置(L2))保持基板(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥装置，通过减压使在具有第一主面及第二主面的基板的所述第一主面上存在的处理液干燥，其中，/n所述减压干燥装置具有：/n框体，具有能够容纳所述基板的容纳空间，并且具有面对所述容纳空间的第一面；/n凹部，设置于所述第一面；/n排气口，设置于所述凹部的深度方向的底面；/n抽吸机构，经由所述排气口抽吸所述容纳空间的气体；/n第一构件，配置在所述容纳空间中的在所述深度方向上与所述排气口重叠的位置；/n第二构件，配置在特定位置，该特定位置即是所述容纳空间中的在所述深度方向上与所述第一构件的端部及所述凹部的内缘部隔开间隔的位置，又是在所述深度方向上与所述端部及所述内缘部重叠的位置；/n基板保持部，在所述容纳空间中的相对于所述第一构件及所述第二构件位于与所述排气口相反一侧的位置保持所述基板。/n
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