[发明专利]一种用于探测半导体材料X射线性能的装置在审
| 申请号： | 201910468119.4 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110057842A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王殳凹;陈兰花;梁城瑜;翟富万;程丽葳;王亚星 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;H05K9/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 杨慧林 |
| 地址： | 215168 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于探测半导体材料X射线性能的装置，该装置包括暗箱和静电计，暗箱内设有电磁屏蔽盒，电磁屏蔽盒上方设有开口，开口上方设有X射线光源，电磁屏蔽盒内设有PCB板，PCB板上设有第一导电胶、第二导电胶、第一针脚和第二针脚，第一导电胶和第二导电胶用于分别与样品的上下表面粘合，第一导电胶与第一针脚电连接，第二导电胶与第二针脚电连接，第一针脚与静电计的高压输入口连接，第二针脚与静电计的信号输入口连接。本发明结构简单，操作方便，能够很好地实现静电屏蔽，减少外界环境对探测的干扰，大大降低了测试成本。同时，各部件之间连接稳定，能够准确测量到样品的弱电流，进而得到样品的X射线性能。 | ||
| 搜索关键词： | 针脚 导电胶 电磁屏蔽盒 探测半导体 电连接 材料X 射线 静电屏蔽 开口 暗箱 高压输入口 信号输入口 测试成本 连接稳定 上下表面 外界环境 准确测量 弱电流 粘合 探测 | ||
【主权项】：
1.一种用于探测半导体材料X射线性能的装置，其特征在于，包括暗箱和静电计，所述暗箱内设有电磁屏蔽盒，所述电磁屏蔽盒上方设有开口，所述开口上方设有X射线光源，所述电磁屏蔽盒内设有PCB板，所述PCB板上设有第一导电胶、第二导电胶、第一针脚和第二针脚，所述第一导电胶和第二导电胶用于分别与样品的上下表面粘合，所述第一导电胶与第一针脚电连接，所述第二导电胶与第二针脚电连接，所述第一针脚与所述静电计的高压输入口连接，所述第二针脚与所述静电计的信号输入口连接。
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