[发明专利]一种天板及干刻设备

摘要

本发明实施例公开了一种天板及干刻设备。该天板包括：相对设置的第一表面和第二表面；第二表面包括中央区域和围绕中央区域的边缘区域；第二表面的中央区域到所述第一表面的垂直距离为第一距离，第二表面的所述边缘区域到所述第一表面的垂直距离为第二距离；所述第一距离大于所述第二距离，且沿所述中央区域的几何中心指向所述边缘区域的方向，第一距离和第二距离均逐渐减小，或者，第一距离逐渐减小，第二距离不变，或者，第一距离不变，第二距离逐渐减小；第二表面向远离第一表面的方向外凸，且所述第二表面为平滑过渡的表面。本实施例的方案避免了干刻过程中天板中央区域的厚度减小影响天板使用寿命，提高了天板的使用寿命。

主权项

1.一种天板，其特征在于，所述天板用于干刻，所述天板包括：相对设置的第一表面和第二表面；所述第二表面包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述第二表面的所述中央区域到所述第一表面的垂直距离为第一距离，所述第二表面的所述边缘区域到所述第一表面的垂直距离为第二距离；所述第一距离大于所述第二距离，且沿所述中央区域的几何中心指向所述边缘区域的方向，所述第一距离和所述第二距离均逐渐减小，或者，所述第一距离逐渐减小，所述第二距离不变，或者，所述第一距离不变，所述第二距离逐渐减小；所述第二表面向远离所述第一表面的方向外凸，且所述第二表面为平滑过渡的表面。