[发明专利]具有由框架结构限定的功能结构的装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201910480505.5 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110579514A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | P·玛卡拉姆;J·库珀;J·奥特纳;S·平德尔;C·特拉范;A·佐普弗尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;G01N27/12;G01N27/30 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本公开涉及一种装置，包括基于半导体的基板，具有构造在该基于半导体的基板中或构造在该基于半导体的基板上的功能结构。该装置包括框架结构，该框架结构围绕功能结构，并且该装置包括涂层，该涂层覆盖功能结构并且由框架结构限定。 | ||
| 搜索关键词： | 功能结构 框架结构 基板 半导体 涂层覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：/n基于半导体的基板(12)，具有构造在所述基于半导体的基板(12)中或构造在所述基于半导体的基板上的功能结构；/n框架结构(16)，围绕所述功能结构(14)；/n涂层(22)，覆盖所述功能结构(14)并且由所述框架结构(16)限定。/n
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