[发明专利]一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法

摘要

本发明涉及蒸镀材料制备技术领域，具体涉及到一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法。一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法，步骤包括：(1)准备配料；(2)浆料喷雾造粒；(3)压片成型；(4)烧结体制备；(5)粉碎造粒；(6)熔制成坨；(7)退火处理；(8)粉碎成颗粒；(9)清洗包装。本发明采用先将硅铝陶瓷烧结体粉碎后烧制退火，再次粉碎的步骤，得到的硅铝玻璃蒸镀材料密度大，电子枪轰击镀膜材料不会因为自身重量轻而产生飞溅现象；气孔少，减少镀膜过程的放气量，从而提高膜层品质；蒸发角一致，蒸发速率均匀稳定，电子枪聚焦容易；镀膜材料不容易有粉尘脱落，镀膜过程不会造成溅射点，且可批量化应用在塑胶镜头上，使得镀膜操作性和镀膜后膜层质量均有很大的改善。

主权项

1.一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法，其特征在于，步骤包括：(1)准备配料：将原料SiO₂和Al₂O₃按重量比(1‑X):X配料混合，其中X＝1～40wt％；将混合料放入行星球磨机，同时加入直径两毫米氧化锆研磨球和纯净水，在行星球磨机中水为混合介质对配料进行湿法球磨工艺，料球比为10:1～20:1，球磨时间为5～10h；(2)浆料喷雾造粒：将步骤(1)球磨后制成的浆料放入喷雾造粒机，制备出球形粉；(3)压片成型：将步骤(2)制成的复合粉体，在压片机上压制成型，压片压力控制在100～200MPa，制备成片状坯体；(4)烧结体制备：将步骤(3)制成的片状坯体放入烧结炉中，升温速率为2～10℃/min，升温至500℃～600℃保温2～6h，然后升温至1300℃～1600℃保温5～8h，然后以5～10℃/min的降到室温，获得硅铝烧结体；(5)粉碎造粒：将步骤(4)制成的硅铝烧结体，用高速粉碎机粉碎成陶瓷造粒粉；(6)熔制成坨：将步骤(5)制成的陶瓷造粒粉放入石英玻璃连熔炉中，在氮气气氛保护下，熔制石英坨体；(7)退火处理：将步骤(6)制成的石英坨体迅速移入退火炉中，温度保持在1100～1300℃保温，之后降温到室温；(8)粉碎成颗粒：将步骤(7)制成的石英坨使用粉碎机粉碎成1～3mm的石英颗粒，然后用球磨机去除颗粒棱角；(9)清洗包装：将步骤(8)制成的颗粒料，放入超声波清洗机中清洗处理，然后烘干，包装。