[发明专利]透镜总成在审

专利信息
申请号: 201910489790.7 申请日: 2019-06-06
公开(公告)号: CN110596850A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 杨岳霖;廖启宏 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G02B7/02 分类号: G02B7/02;G03F7/20
代理公司: 72003 隆天知识产权代理有限公司 代理人: 李琛;黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;TW
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开涉及一种透镜总成。本公开的实施例涉及在微影工具中使用的动态地控制的透镜。动态透镜的多个区域可用来传输用于微影工艺的辐射光束。通过允许多个区域传输辐射光束,动态地控制的透镜相较于传统的固定透镜可具有延长的生命周期。动态地控制的透镜可以较低的频率更换或调换,因此,改善微影工具的效率并降低生产成本。
搜索关键词: 透镜 辐射光束 微影 动态透镜 固定透镜 区域传输 生命周期 透镜总成 微影工艺 传统的 可用 调换 传输
【主权项】:
1.一种透镜总成,包括:/n一或多个透镜单元,配置以耦接至一微影工具或在该微影工具中,该透镜单元包括:/n一光学透镜;以及/n一对准致动器,连接至该光学透镜,其中该对准致动器可操作以在一透镜平面内移动该光学透镜,其中该透镜平面穿过该光学透镜的一原点,且该透镜平面垂直于该光学透镜的一光轴。/n
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