[发明专利]一种缺陷检测的方法及缺陷检测设备在审
| 申请号： | 201910492015.7 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN112051265A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 孙华宇;李一峰;刘方成;杨非;王超 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯;骆苏华 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种缺陷检测的方法，包括：采用低能量激光且沿预设路径对检测对象的待检测区域进行激光照射，在沿预设路径对待检测区域进行激光照射的同时，采集散射光信息，根据沿预设路径进行激光照射时产生的散射光信息的变化情况确定待检测区域中是否存在缺陷。本申请实施例还提供相应的缺陷检测设备。本申请技术方案由于根据预设路径进行激光照射，所以根据预设路径进行激光照射即可实现自动化缺陷检测，而且不会受到景深和分辨率等因素的限制，检测灵敏度更高，激光照射使用的低能量激光对于一些敏感器件不易造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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