[发明专利]一种用于柔性微纳器件结构加工的设备

摘要

本发明公开了一种用于柔性微纳器件结构加工的设备。本发明包括成型腔体装置和离心装置。成型腔体装置包括固定连接的下层成型结构和上层成型结构，材料为硬质玻璃板材。下层成型结构的本体平面中心位置开有圆形凹槽,上层成型结构的本体平面上开有通槽。下层成型结构的圆形凹槽与上层本体底面配合，形成柔性材料填充腔；上层成型结构的通槽与下层本体顶面配合，形成柔性材料注入通道；柔性材料填充腔通过柔性材料注入通道与成型腔体装置外空间相通。离心装置包括离心箱和离心电机，离心箱为温度可控的密闭箱体。本发明具有制备速度快，加工精度高，加工成本低，使用范围广等特点。

主权项

1.一种用于柔性微纳器件结构加工的设备，其特征在于：包括成型腔体装置和离心装置；所述的成型腔体装置包括下层成型结构(1)和上层成型结构(2)；下层成型结构(1)和上层成型结构(2)均为硬质玻璃板材；所述的下层成型结构(1)包括下层本体(1‑1)，下层本体(1‑1)的平面中心位置开有圆形凹槽(1‑2),下层本体(1‑1)平面的每个转角附近均匀开有下层螺孔(1‑3)；所述的上层成型结构(2)包括上层本体(2‑1)，上层本体(2‑1)的平面上开有通槽(2‑2)；通槽(2‑2)的一端位于上层本体(2‑1)的一侧，形成开放端，另一端位于位于上层本体(2‑1)平面内，为封闭端；上层本体(2‑1)平面的每个转角附近均匀开有上层螺孔(2‑3)；所述的下层本体(1‑1)和上层本体(2‑1)的平面形状和投影面积相同；下层螺孔(1‑3)和上层螺孔(2‑3)数量相同、位置对应；所述的下层成型结构(1)和上层成型结构(2)通过螺钉固定连接；下层成型结构(1)的圆形凹槽(1‑2)与上层本体(2‑1)的底面配合，形成柔性材料填充腔(3)；上层成型结构(2)的通槽(2‑2)与下层本体(1‑1)的顶面配合，形成柔性材料注入通道(4)；柔性材料填充腔(3)通过柔性材料注入通道(4)与成型腔体装置外空间相通；沿柔性材料填充腔(3)侧壁设置有密封圈(5)；所述的离心装置包括离心箱(7)和离心电机(8)，离心箱(7)为温度可控的密闭箱体，离心电机(8)设置在离心箱(7)内，离心支架(9)的中心与离心电机(8)的动力输出轴连接，成型腔体装置放在离心支架(9)的置物架(10)内。