[发明专利]太阳能芯片的制备方法及太阳能芯片

摘要

本发明涉及太阳能电池制备技术领域，公开了一种太阳能芯片的制备方法，包括提供一基底，在所述基底上沉积阻挡层；在所述阻挡层上沉积第一钼膜层作为第一背电极层；在所述第一背电极层上沉积钼钠膜层作为第二背电极层；在所述第二背电极层上沉积第二钼膜层作为界面层；其中，在沉积所述第一背电极层和第二背电极层时通入目标流量的氧气以形成背电极层。本发明还公开了一种太阳能电池，其通过控制目标氧气比氩气比例增加了太阳能电池的电导率，提高了太阳能电池的各项性能。