[发明专利]一种钙钛矿成膜工艺

摘要

本发明涉及一种钙钛矿成膜工艺，包括：步骤1)取前驱液滴加在衬底一侧；步骤2)连续匀速滴加，滴加速率为0.1mL/min‑10mL/min，滴加范围是沿着衬底一侧直线滴加，直至前驱液完全线性覆盖衬底一侧边缘为止；步骤3)用适宜于上述条件的软膜覆盖于滴加前驱液的一侧，用机械手拖动软膜，刷向衬底另一侧，得到均匀涂覆在衬底上的前驱液；步骤4)0‑300℃条件下退火,退火时长0‑300min。本发明的有益效果是：采用软膜覆盖的刷膜方法，通过剪切力的作用达到准确调控膜厚的效果，同时也避免了硬质刮头可能带来的薄膜损伤，从而实现钙钛矿大面积成膜的高效制备。对钙钛矿的大面积产业化推进有重要意义。

主权项

1.一种钙钛矿成膜工艺，其特征在于，包括软膜、钙钛矿前驱液和钙钛矿前驱液溶剂；包括如下步骤：1)取前驱液滴加在衬底一侧；2)连续匀速滴加，滴加速率为0.1mL/min‑10mL/min，滴加范围是沿着衬底一侧直线滴加，直至前驱液完全线性覆盖衬底一侧边缘为止；3)用适宜于上述条件的软膜覆盖于滴加前驱液的一侧，用机械手拖动软膜，刷向衬底另一侧，得到均匀涂覆在衬底上的前驱液；4)0‑300℃条件下退火,退火时长0‑300min。