[发明专利]用于基板输送系统的示教装置及示教方法在审

申请号：	201910502824.1	申请日：	2019-06-11
公开（公告）号：	CN110600397A	公开（公告）日：	2019-12-20
发明（设计）人：	矶川英立;桥本幸一;稻叶充彦;饭田马琴	申请（专利权）人：	株式会社荏原制作所
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/677
代理公司：	31300 上海华诚知识产权代理有限公司	代理人：	肖华
地址：	日本东京都***	国省代码：	日本;JP
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摘要：	本发明能够不受进行示教作业的作业人员的技能影响进行示教。提供用于基板输送系统的示教装置，基板输送系统具有构成为能对基板进行保持的基板输送装置及构成为能从基板输送装置接收基板的基板接收装置，示教装置具有：构成为保持于基板输送装置的示教基板；能被安装于示教基板的摄影机；及用于控制保持着示教基板的基板输送装置及/或基板接收装置的动作的控制装置，控制装置具有：接收由摄影机拍摄的图像的接收部；根据接收的图像计算基板输送装置与基板接收装置的相对的位置关系的解析部；及根据由解析部计算的基板输送装置与基板接收装置的相对的位置关系，确定基板输送装置及/或基板接收装置的停止位置的确定部。
搜索关键词：	基板输送装置基板接收装置示教基板基板输送系统控制装置示教装置摄影机解析接收基板示教作业停止位置图像计算对基板接收部图像技能拍摄
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【主权项】：

1.一种示教装置，所述示教装置用于基板输送系统，其特征在于，/n所述基板输送系统具有：/n基板输送装置，所述基板输送装置构成为能够对基板进行保持；以及/n基板接收装置，所述基板接收装置构成为能够从所述基板输送装置接收基板，/n所述示教装置具有：/n示教基板，所述示教基板构成为保持于所述基板输送装置；/n摄影机，所述摄影机能够被安装于所述示教基板；以及/n控制装置，所述控制装置用于对保持着所述示教基板的所述基板输送装置及/或所述基板接收装置的动作进行控制，/n所述控制装置具有：/n接收部，所述接收部接收由所述摄影机拍摄的图像；/n解析部，所述解析部根据接收的所述图像计算所述基板输送装置与所述基板接收装置的相对的位置关系；以及/n确定部，所述确定部根据由所述解析部计算的所述基板输送装置与所述基板接收装置的相对的位置关系，确定所述基板输送装置及/或所述基板接收装置的停止位置。/n

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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