[发明专利]阵列基板、显示面板及阵列基板的制作方法

摘要

本发明提供一种阵列基板、显示面板及阵列基板的制作方法。阵列基板包括层叠设置的衬底层、缓冲层、标记层和薄膜晶体管层；所述缓冲层设于所述衬底层的一面，所述缓冲层中层叠有应力相互抵消的至少两层无机层；所述标记层设于所述缓冲层背离所述衬底层的一面；所述薄膜晶体管层设于所述缓冲层具有标记层的一侧。显示面板包括所述的阵列基板。阵列基板的制作方法包括步骤：基板提供、衬底层制作、缓冲层制作和薄膜晶体管层制作。本发明所述缓冲层的两层无机层巧妙的利用了SiNx薄膜和SiO₂薄膜应力方向相反互相抵消，增加缓冲层与衬底层的粘附力，从而保证对位标记不丢失。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括衬底层；缓冲层，设于所述衬底层的一面，所述缓冲层中层叠有应力相互抵消的至少两层无机层；标记层，设于所述缓冲层背离所述衬底层的一面；以及薄膜晶体管层，设于所述缓冲层具有标记层的一侧。