[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201910510249.X | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110614444B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 波多野雄二;能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/03;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/146;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供激光加工装置，在对板状的被加工物照射激光光线而进行加工时，不会妨碍激光光线对被加工物的照射。激光加工装置包含：卡盘工作台，其对板状的被加工物(10)进行保持；激光光线照射单元(8)，其具有对卡盘工作台所保持的被加工物(10)照射激光光线(LB)的聚光器(86)；加工进给机构(50)，其将卡盘工作台和激光光线照射单元(8)相对地进行加工进给；以及腔室(422a)，其由透明板(423)、顶壁(421)以及侧壁(422e)构成，其中，该透明板(423)定位于聚光器(86)的正下方，允许由聚光器(86)照射的激光光线(LB)通过，该顶壁(421)包含透明板(423)，该侧壁(422e)从顶壁(421)垂下并与被加工物(10)的上表面形成间隙(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其具有：/n卡盘工作台，其对板状的被加工物进行保持；/n激光光线照射单元，其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光光线的聚光器；/n加工进给构件，其将卡盘工作台和该激光光线照射单元相对地进行加工进给；/n腔室，其由透明板、顶壁以及侧壁形成，其中，该透明板定位于该聚光器的正下方，允许由该聚光器照射的激光光线通过，该顶壁包含该透明板，该侧壁从该顶壁垂下并与被加工物的上表面形成间隙；以及/n液体提供部，其对该腔室的内部提供液体而利用液体将该腔室的内部充满，并且在液体中生成压力而对因激光光线的照射而产生的泡进行压缩。/n
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