[发明专利]用于衬底涂覆的气垫设备和技术

摘要

能够在衬底上提供涂层。所述涂层的制造能够包括：在使用气垫在涂覆系统中支撑衬底的同时，在衬底的指定区域中形成固体层。例如，在由气垫支撑衬底的同时，能够在指定区域上打印液体涂层。在已打印带图案的液体之后，能够固持衬底指定的持续时间。在使用气垫支撑衬底的同时，能够将衬底输送到处理区。能够处理液体涂层以提供固体层，包括继续使用气垫支撑衬底。

主权项

1.一种用于在衬底上形成材料层的系统，所述系统包括：多个涂覆系统，每个涂覆系统包括：打印区，所述打印区包括打印系统，以在打印区中将材料沉积在衬底的表面上；处理区，所述处理区包括处理系统，以处理沉积在衬底的表面上的材料，以从所述材料形成固体层；和衬底输送设备，以在打印区和处理区之间输送衬底；以及衬底操控器，以固持衬底，所述衬底操控器能选择性地定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载。