[发明专利]FOUP清洗装置在审
| 申请号： | 201910515897.4 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110238143A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 周至军;高英哲;张文福;刘璞方 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B3/12;B08B9/08;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种FOUP清洗装置。所述FOUP清洗装置包括：清洗腔，用于容纳FOUP，所述FOUP具有用于容纳晶圆的容纳腔；第一喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射清洗液；驱动结构，用于驱动所述FOUP在所述清洗腔内转动，以排出所述容纳腔内的所述清洗液；第二喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射气体，以干燥残留的所述清洗液。本发明提高了FOUP清洗效率，降低了FOUP在清洗过程中损伤的风险，也节省了清洗过程中的人力成本；而且，减少了FOUP清洗装置整体的占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗装置 清洗腔 容纳腔 清洗液 清洗过程 喷嘴 半导体制造技术 容纳 喷射气体 清洗效率 驱动结构 人力成本 晶圆 排出 喷射 转动 损伤 残留 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种FOUP清洗装置，其特征在于，包括：清洗腔，用于容纳FOUP，所述FOUP具有用于容纳晶圆的容纳腔；第一喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射清洗液；驱动结构，用于驱动所述FOUP在所述清洗腔内转动，以排出所述容纳腔内的所述清洗液；第二喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射气体，以干燥残留的所述清洗液。
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