[发明专利]一种超稳定三电极电子束蒸发源在审
| 申请号： | 201910516095.5 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110117772A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;阿力甫·库提鲁克;李浩 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201906 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超稳定三电极电子束蒸发源，用于解决现有技术中电子束蒸发装置结构复杂、电子束源存在加热不均匀、蒸发材料容易污染灯丝、电子束轨迹控制方法复杂的问题，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，靶材固定至支撑基座；灯丝为耐高温金属材料，固定至支撑基座，设置于靶材上方，灯丝接通负电；实施本发明的技术方案，在靶材和灯丝间设置反射板，可便捷地实现对电子束轨迹的控制，并且减缓灯丝被污染的速度、延长装置寿命、简化装置结构、降低装置的放气率；反射板接通负电并且负电电压设置为可连续调节的，利于实现靶材端部的匀速蒸发，增加蒸发源适用的靶材种类、提高装置兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 灯丝 负电 支撑基座 电子束蒸发源 电子束轨迹 反射板 三电极 接通 电子束蒸发装置 耐高温金属材料 简化装置结构 电压设置 电子束源 降低装置 连续调节 提高装置 延长装置 蒸发材料 不均匀 放气率 兼容性 蒸发源 加热 污染 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，所述靶材固定至所述支撑基座；所述灯丝为耐高温金属材料，固定至所述支撑基座，设置于所述靶材上方，所述灯丝接通负电。
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