[发明专利]涂布膜形成方法和涂布膜形成装置在审
| 申请号： | 201910516508.X | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110609447A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 上塘真吾 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涂布膜形成方法和涂布膜形成装置。提供一种使形成于在表面具有具备高度差的图案的基板的表面整体的涂布膜的表面平坦化的技术。涂布膜形成方法的特征在于，包括以下的工序：涂布膜形成工序，向在表面具有具备高度差的图案的基板的该表面整体供给涂布液来形成涂布膜；加压工序，利用具备覆盖被保持于第一保持部的所述基板的表面整体的平坦面的加压部，使所述平坦面相对地按压所述基板的涂布膜；以及涂布膜固化工序，使表面被平坦化后的所述涂布膜固化。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布膜 基板 高度差 涂布膜形成装置 按压 图案 表面平坦化 固化工序 加压工序 形成工序 加压部 平坦化 平坦面 涂布液 固化 平坦 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种涂布膜形成方法，包括以下的工序：/n涂布膜形成工序，向在表面具有具备高度差的图案的基板的该表面整体供给涂布液来形成涂布膜；/n加压工序，利用具备覆盖被保持于第一保持部的所述基板的表面整体的平坦面的加压部，使所述平坦面相对地按压所述基板的涂布膜；以及/n涂布膜固化工序，使表面被平坦化后的所述涂布膜固化。/n
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