[发明专利]光学元胞及分辨率板在审

专利信息
申请号: 201910519334.2 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN110221366A 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 陈树琪;刘文玮;程化;田建国 申请(专利权)人: 南开大学
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00;G02B5/30
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张磊
地址: 300071*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供了一种光学元胞及分辨率板,涉及光学技术领域,该光学元胞包括:衬底和设置于衬底上的纳米非晶硅柱;其中,纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱;多个光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。本发明通过采用衬底和纳米非晶硅柱,可以有效缩小光学元胞的尺寸,进而可以明显降低分辨率板的尺寸,以及通过按照预设方式将光学元胞按排布形成分辨率板,可以提高分辨率板的设计灵活性,从而适应更多成像测试场合的需求。
搜索关键词: 元胞 分辨率板 非晶硅 衬底 预设方式 排布 光学技术领域 成像测试 椭圆柱 分辨率
【主权项】:
1.一种光学元胞,其特征在于,包括:衬底和设置于所述衬底上的纳米非晶硅柱;其中,所述纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱。
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