[发明专利]光学元胞及分辨率板在审
申请号: | 201910519334.2 | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN110221366A | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 陈树琪;刘文玮;程化;田建国 | 申请(专利权)人: | 南开大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B5/30 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 300071*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种光学元胞及分辨率板,涉及光学技术领域,该光学元胞包括:衬底和设置于衬底上的纳米非晶硅柱;其中,纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱;多个光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。本发明通过采用衬底和纳米非晶硅柱,可以有效缩小光学元胞的尺寸,进而可以明显降低分辨率板的尺寸,以及通过按照预设方式将光学元胞按排布形成分辨率板,可以提高分辨率板的设计灵活性,从而适应更多成像测试场合的需求。 | ||
搜索关键词: | 元胞 分辨率板 非晶硅 衬底 预设方式 排布 光学技术领域 成像测试 椭圆柱 分辨率 | ||
【主权项】:
1.一种光学元胞,其特征在于,包括:衬底和设置于所述衬底上的纳米非晶硅柱;其中,所述纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南开大学,未经南开大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910519334.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。