[发明专利]一种表面检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910526828.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110208272B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 章富平;李仲禹;刘亮 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种表面检测装置及方法。该表面检测装置包括：控制模块、放置被测物体的工作台和至少一个探测头；探测头用于发射入射光束并控制入射光束在被测物体的表面进行第一方向的扫描，再接收入射光束经由被测物体的表面散射形成的散射光束；工作台用于当探测头完成在被测物体表面进行的第一方向扫描时，带动被测物体沿第二方向移动预设距离直至完成对被测物体的第一区域的扫描；控制模块用于当被测物体的第一区域扫描完成后，控制被测物体围绕旋转轴旋转预设角度，以使探测头对被测物体的第二区域进行扫描；其中，第一方向与第二方向交叉。本实施例提供的表面检测装置，提高了检测效率，减小了表面检测装置尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：控制模块、放置被测物体的工作台和至少一个探测头；所述探测头用于发射入射光束并控制所述入射光束在所述被测物体的表面进行第一方向的扫描，再接收所述入射光束经由所述被测物体的表面散射形成的散射光束；所述工作台用于当所述探测头完成在所述被测物体表面进行的所述第一方向扫描时，带动所述被测物体沿第二方向移动预设距离直至完成对所述被测物体的第一区域的扫描；所述控制模块用于当所述被测物体的第一区域扫描完成后，控制所述被测物体围绕旋转轴旋转预设角度，以使所述探测头对所述被测物体的第二区域进行扫描；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海精测半导体技术有限公司，未经上海精测半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910526828.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
