[发明专利]一种过渡金属硫族化合物薄层材料及其制备方法和应用有效
申请号: | 201910529446.6 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110257800B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 成会明;蔡正阳;赖泳爵;刘碧录 | 申请(专利权)人: | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/44 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 洪铭福 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种过渡金属硫族化合物薄层材料及其制备方法和应用,该制备方法包括:将过渡金属源均匀铺设于两块衬底之间,制备成夹层结构;将夹层结构进行热处理,使两块衬底熔融粘合在一起,再将硫族元素源与熔融粘合后的夹层结构在保护气体的保护下进行化学气相沉积反应,其中过渡金属源在反应温度下受热溶解、扩散,并在衬底的表面析出,与硫族元素源反应;其中,硫族元素源包括硫源、硒源、碲源中的一种或多种。通过以上方式,本发明通过采用“溶解‑析出”原理与化学气相沉积反应相结合以制备过渡金属硫族化合物薄层材料,其制作工艺简单易行,过程可控,所制得的过渡金属硫族化合物薄层材料在厘米级范围内均匀分布,形貌良好,光学、电学等性能优异,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 过渡 金属 化合物 薄层 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、将过渡金属源均匀铺设于两块衬底之间,制备成夹层结构;S2、将所述夹层结构进行热处理,使两块衬底熔融粘合在一起;S3、将硫族元素源和步骤S2处理后的夹层结构在保护气体的保护下进行化学气相沉积反应;所述过渡金属源在反应温度下受热溶解、扩散,并在所述衬底表面析出,与所述硫族元素源反应;所述硫族元素源包括硫源、硒源、碲源中的一种或多种。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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