[发明专利]一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法有效
| 申请号： | 201910536842.1 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110606490B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 马建修;王新鹏;杜文东;张杰;崔录芳 | 申请（专利权）人： | 绿菱电子材料（天津）有限公司;天津绿菱气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 301714 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法。一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法，包括以下步骤：氟硅酸盐的预处理；氟硅酸盐经裂解反应制备四氟化硅粗料；在第一吸附工段脱除痕量水分及酸性气体；在第二吸附工段对氟硅醚进行脱除与阻聚控制；在精馏工段对轻组分和重组分进行分离；通过复杂精馏工段对恒沸物杂质进行分离。本发明提出的高纯四氟化硅的合成及纯化方法，其将加热裂解、吸附单元操作、精馏和复杂精馏科学组合，通过采用吸附单元脱除氟硅醚，通过常规精馏单元操作后增加复杂精馏工艺去除恒沸物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 氟化 合成 纯化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法，其特征在于，其包括以下步骤：/nS1步骤：氟硅酸盐的预处理；/nS2步骤：氟硅酸盐经裂解反应制备四氟化硅粗料；/nS3步骤：在第一吸附工段脱除痕量水分及酸性气体；/nS4步骤：在第二吸附工段对氟硅醚进行脱除与阻聚控制；/nS5步骤：在精馏工段对轻组分和重组分进行分离；/nS6步骤：通过复杂精馏工段对恒沸物杂质进行分离。/n
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