[发明专利]确定传感器轨道、计算且均匀化研磨进度、停止研磨装置的方法、记录介质及基板研磨装置有效
| 申请号： | 201910541443.4 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110625516B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 中村显 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明以确定设置于基板研磨装置的研磨台的涡电流传感器的轨道为一个目的。一种确定涡电流传感器的轨道的方法，是确定从基板研磨装置中的基板观察到的涡电流传感器的轨道的方法，该基板研磨装置具备研磨台和研磨头，该方法具备：取得传感器输出映射作为三维数据的阶段；对基板进行研磨的阶段；取得研磨中信号的轮廓作为二维数据的阶段；以及从作为三维数据的传感器输出映射中抽出具有与作为二维数据的研磨中信号的轮廓最类似的轮廓的轨道，并且将该抽出的轨道确定为从基板观察到的涡电流传感器的轨道的阶段。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 传感器 轨道 计算 均匀 研磨 进度 停止 装置 方法 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种确定涡电流传感器的轨道的方法，是确定从基板研磨装置中的基板观察到的涡电流传感器的轨道的方法，该基板研磨装置具备：/n研磨台，在该研磨台设置有涡电流传感器，并且构成为能够旋转；以及/n研磨头，该研磨头与所述研磨台相对，并且构成为能够旋转，能够在该研磨头的与所述研磨台相对的表面安装基板，/n所述方法的特征在于，具备：/n取得传感器输出映射作为三维数据的阶段，该传感器输出映射是表示所述涡电流传感器对于基板的被研磨面的整个表面的输出信号的映射；/n一边使安装有基板的所述研磨头和所述研磨台旋转，一边将所述基板按压于所述研磨台而对所述基板进行研磨的阶段；/n取得研磨中信号的轮廓作为二维数据的阶段，该研磨中信号是在所述基板被研磨期间所述涡电流传感器输出的信号；以及/n从作为三维数据的所述传感器输出映射中抽出具有与作为二维数据的所述研磨中信号的轮廓最类似的轮廓的轨道，并且将抽出的轨道确定为从所述基板观察到的所述涡电流传感器的轨道的阶段。/n
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