[发明专利]干燥装置及干燥方法

摘要

本揭示提供一种干燥装置，包括：箱体、冷凝板、第一抽气组件、托板以及第二抽气组件，箱体内设置有干燥腔，冷凝板设置在所述干燥腔内，冷凝板的表面设置为弧形面，第一抽气组件设置在冷凝板的顶部，并连通到箱体的外部，托板设置在冷凝板下，且托板的长度小于冷凝板的长度，第二抽气组件设置在箱体的底部上，干燥时，多余的溶剂聚集在冷凝板上并沿着弧面流入冷凝板的四周端部，从而避免了污染薄膜，保证干燥效果。

主权项

1.一种干燥装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体内设置有干燥腔；冷凝板，所述冷凝板设置在所述干燥腔内，所述冷凝板的表面为弧形面；第一抽气组件，所述第一抽气组件设置在所述冷凝板的顶部，并连通到所述箱体的外部；托板，所述托板设置在所述干燥腔内，所述托板设置在所述冷凝板下，且所述托板的长度小于所述冷凝板的长度，所述托板用于支撑基板；以及多个第二抽气组件，所述第二抽气组件设置在所述箱体的底部。