[发明专利]一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统及方法

摘要

本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，包括:过热饱和蒸汽源；减温减压器与过热饱和蒸汽源连接，对过热饱和蒸汽进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽；饱和蒸汽利用装置与减温减压器连接，用于接收中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽，产生蒸汽冷凝液；闪蒸罐与饱和蒸汽利用装置连接，用于接收中压冷凝液，闪蒸后输出低压蒸汽和低压冷凝液；蒸汽冷凝液贮罐分别与闪蒸罐和低压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收低压冷凝液；高温水泵与蒸汽冷凝液贮罐连接，用于将蒸汽冷凝液贮罐中的冷凝液输送至减温减压器，以与减温减压器中的过热饱和蒸汽混合减温，得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽。

主权项

1.一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，包括:过热饱和蒸汽源、减温减压器、饱和蒸汽利用装置、蒸汽冷凝液贮罐、闪蒸罐和高温水泵；所述减温减压器包括：中压减温减压器和低压减温减压器；所述中压减温减压器分别与所述过热饱和蒸汽源和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收过热饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽；所述低压减温减压器分别与所述中压减温减压器和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到低压饱和蒸汽；所述饱和蒸汽利用装置包括：中压饱和蒸汽利用装置和低压饱和蒸汽利用装置；所述中压饱和蒸汽利用装置与所述中压减温减压器连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行利用，产生中压蒸汽冷凝液；所述低压饱和蒸汽利用装置与所述低压减温减压器连接，用于接收低压饱和蒸汽，并进行利用，产生低压蒸汽冷凝液；所述闪蒸罐与所述中压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述中压饱和蒸汽利用装置输出的中压蒸汽冷凝液，闪蒸后输出低压蒸汽和冷凝液；所述蒸汽冷凝液贮罐与所述闪蒸罐连接，用于接收所述闪蒸罐中输出的冷凝液；所述蒸汽冷凝液贮罐与所述低压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述低压饱和蒸汽利用装置输出的低压蒸汽冷凝液；所述高温水泵与所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于将所述蒸汽冷凝液贮罐中的冷凝液输送至所述减温减压器，以与所述减温减压器中的过热饱和蒸汽混合减温，得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽。