[发明专利]一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台在审
| 申请号： | 201910553213.X | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112130419A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 姜燕燕;陆敏杰;周俊晨 | 申请（专利权）人： | 无锡星微科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区太湖国际*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，包括大理石基座，大理石基座上平行设置有Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨，Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨和X2向导轨，X1向导轨和X2向导轨上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，X向气浮导向装置上安装有载物台。本发明采用XY双向双驱气浮导轨，XY导向面均安装关节式气浮垫，可降低加工安装精度，从而实现大尺寸晶圆等检测的运动平台，且可使载物平面跳动1个微米，以满足行业尺寸日愈增大的趋势和日愈严格的检测要求，且维护简单，不污染洁净室。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 尺寸 厚度 弯曲 检测 运动 平台 | ||
【主权项】：
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