[发明专利]一种显示面板、其制作方法及母板

摘要

本发明公开了一种显示面板、其制作方法及母板，该母板，包括：衬底基板，位于衬底基板之上的多个目标区域，以及位于衬底基板之上的压电薄膜和声波激励结构；其中，声波激励结构位于除各目标区域以外的区域，并与压电薄膜接触，声波激励结构用于在驱动信号的控制下产生表面声波；目标区域，包括：位于衬底基板上的绝缘层，以及位于绝缘层远离衬底基板一侧的多个用于容置微发光二极管的凹槽；压电薄膜位于除各凹槽以外的区域，每一个凹槽内具有驱动电极和第一磁性结构。本发明实施例提供的母板可以实现对微发光二极管的巨量转移，制作工艺简单高效，可有效降低工艺成本。

主权项

1.一种母板，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板之上的多个目标区域，以及位于所述衬底基板之上的压电薄膜和声波激励结构；其中，所述声波激励结构位于除各所述目标区域以外的区域，并与所述压电薄膜接触，所述声波激励结构用于在驱动信号的控制下产生表面声波；所述目标区域，包括：位于所述衬底基板上的绝缘层，以及位于所述绝缘层远离所述衬底基板一侧的多个用于容置微发光二极管的凹槽；所述压电薄膜位于除各所述凹槽以外的区域，每一个所述凹槽内具有驱动电极和第一磁性结构。