[发明专利]一种干式双涡旋真空泵有效

专利信息
申请号: 201910559359.5 申请日: 2019-06-26
公开(公告)号: CN110185614B 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 熊树生;江仁埔 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C18/02;F04C29/12;F04C27/00;F04C29/00;F04C29/04;F04C23/02
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 乔占雄
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种真空获得设备,具体公开了一种干式双涡旋真空泵。该干式双涡旋真空泵,其特征在于:包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖,所述的驱动组件包括输出轴,所述的输出轴上偏心设置有动盘;所述动盘面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿;所述上盖的下端设有定盘,所述的定盘上设有与第一涡旋齿一一对应的第二涡旋齿,所述的第一涡旋齿和第二涡旋齿啮合形成压缩腔;所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口和出气口。以上所述的干式双涡旋真空泵,抽气性能、整机密封和耐热性具有显著提升,设计高度集成、高效节能、简洁紧凑。
搜索关键词: 一种 干式双 涡旋 真空泵
【主权项】:
1.一种干式双涡旋真空泵,其特征在于:包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖,所述的驱动组件包括输出轴(16),所述的输出轴(16)上偏心设置有动盘(6);所述动盘(6)面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿(24);所述上盖的下端设有定盘(4),所述的定盘(4)上设有与第一涡旋齿(24)一一对应的第二涡旋齿(23),所述的第一涡旋齿(24)和第二涡旋齿(23)啮合形成压缩腔;所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口(5)和出气口(1)。
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