[发明专利]一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置有效
| 申请号： | 201910559710.0 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN112147710B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 刘明放;吴萍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，用于检测待测物，待测物包括底板、功能件和位于底板与功能件之间的液层，底板与功能件在液层挥发后粘结在一起，检测装置包括：光源和探测器，光源位于底板的侧面或者底板的底面，底板的底面为底板远离功能件一侧的表面；探测器位于底板的底面，检测方法包括：控制光源发出第一光束并入射到底板中；控制探测器接收被待测物反射的光斑；根据探测器接收到的光斑判断是否存在液层；如果探测器接收到的光斑数量大于两个，则确定待测物中存在液层。本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，以实现对待测物中液层的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 装置 检测 方法 | ||
【主权项】：
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