[发明专利]超声波变幅器和晶片的分割方法有效
| 申请号： | 201910566409.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110712307B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 邱晓明 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/78;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供超声波变幅器和晶片的分割方法，在对晶片进行分割时，抑制分割残留的产生。在超声波变幅器(69)中，辐射面(79)以希望使超声波振动集中的一点为中心而使该一点侧凹陷从而形成为圆顶状。由此，能够使从辐射面(79)辐射的超声波振动集中于一点。另外，沿着晶片(1)的分割预定线(3)形成了强度较弱的改质层(31)。并且，超声波变幅器(69)一边沿着分割预定线(3)移动一边借助水(W)而对晶片(1)的上表面赋予超声波振动。因此，能够按照每个改质层(31)对晶片(1)的所有改质层(31)集中地赋予超声波振动。因此，能够沿着改质层(31)良好地对晶片(1)进行分割。其结果是，能够抑制分割残留的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 变幅器 晶片 分割 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声波变幅器，其集中赋予超声波振动，其中，/n该超声波变幅器具有：/n振子，该振子具有辐射面，该辐射面以希望使该超声波振动集中的一点为中心而使该一点侧凹陷从而形成为圆顶状；以及/n壳体，其对该振子的外周部进行保持。/n
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