[发明专利]半导体制程分析系统以及分析方法、计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 201910567316.1 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN112232012B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种半导体制程分析系统以及分析方法、计算机可读存储介质，分析方法包括：建立芯片地图库，芯片地图库包括按时间轴排序的多个芯片地图，所述时间轴表征不同批次晶圆经历同一制程的时间，针对经历同一制程的不同批次晶圆建立所述多个芯片地图，且芯片地图表征晶圆经历同一制程的时间以及对应的性能数据；基于芯片地图库，获取性能数据的分布模式；基于性能数据的分布模式，获取制程的异常情况。本发明实施例提供一种全新的分析方法，有利于提高分析效率以及分析准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 分析 系统 以及 方法 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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