[发明专利]一种基于GT35球碗零件内表面制备TiN厚膜的方法在审
| 申请号： | 201910571587.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112144014A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赵显伟;毕新儒 | 申请（专利权）人： | 陕西航天时代导航设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人： | 席树文 |
| 地址： | 721006 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于GT35球碗零件内表面制备TiN厚膜的方法，将零件置于真空炉内抽真空并加热，随后向真空炉内通入氩气对球碗内表面进行氩离子刻蚀，完成氩离子刻蚀后开启钛靶在刻蚀后的球碗内表面镀打底层，打底层将球碗零件内表面全覆盖后钛靶继续工作，并开始通入非饱和量的氮气沉积过渡层，氮气通入量随沉积时间阶梯增加，形成钛和氮化钛共存的过渡层，沉积时间随氮气通入量的增加而延长，当过渡层厚度大于等于10μm后开始持续通入饱和量的氮气沉积形成氮化钛层，该氮化钛层大于等于6μm后即可冷却出炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 gt35 零件 表面 制备 tin 方法 | ||
【主权项】：
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