[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置

摘要

本申请涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板及其固定底座，复合夹心屏蔽板具有内侧板、外侧板和设置在内侧板和外侧板之间的中间隔板，内侧板与中间隔板之间的第一空隙内设置有冷却水循环管道，外侧板与中间隔板之间的第二空隙内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网，相邻复合夹心屏蔽板内的铜网通过电导线相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板内的铜网上设置有用于与地面连接的接地导线。本发明屏蔽装置的复合夹心屏蔽板内同时设置冷却水循环管道和铜网，屏蔽效果良好，既能有效保证工作人员的身体健康，又可以减少对设备本身的损害。

主权项

1.一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备(3)外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板(1)及其固定底座(2)，所述复合夹心屏蔽板(1)具有内侧板(11)、外侧板(12)和设置在内侧板(11)和外侧板(12)之间的中间隔板(13)，所述内侧板(11)与中间隔板(13)之间的第一空隙(14)内设置有冷却水循环管道，所述外侧板(12)与中间隔板(13)之间的第二空隙(15)内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网(16)，相邻复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)通过电导线(4)相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)上设置有用于与地面连接的接地导线(5)。