[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置有效
| 申请号： | 201910579865.0 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110289308B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 朱夏明 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L21/336;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的薄膜晶体管容易因为弯折而产生裂纹或者断裂的问题。本发明的薄膜晶体管，包括：基底和设于所述基底上的有源层，所述有源层背离所述基底的表面上设有凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括：基底和设于所述基底上的有源层，其特征在于，所述有源层背离所述基底的表面上设有凹槽。
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