[发明专利]图像配准方法及终端设备

摘要

本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种图像配准方法及终端设备，该方法包括：获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像；根据参考图像和对比图像上的预设特征点，获取被测件相对探测器的位置改变量；根据位置改变量反复调整热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置，并获取每次纳米位移台位置调整后的被测件的新图像；根据新图像与参考图像，确定新图像中与参考图像误差最小的新图像为有效图像，从而可以修正被测件在由于震动、被测件热膨胀等造成的热反射成像测温过程中发生在二维方向的位置改变，实现较高的测温准确度。

主权项

1.一种图像配准方法，其特征在于，包括：获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像；所述参考图像和所述对比图像均为给所述被测件施加固定光强时热反射成像测温装置上的探测器拍摄的所述被测件的图像；根据所述参考图像和所述对比图像上的预设特征点，获取所述被测件相对所述探测器的位置改变量；根据所述位置改变量反复调整所述热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置，并获取每次所述纳米位移台位置调整后的所述被测件的新图像；根据所述新图像与所述参考图像，确定所述新图像中与所述参考图像误差最小的新图像为有效图像。