[发明专利]金属遮罩在审
| 申请号： | 201910589664.9 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN112176279A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李仲仁;赖元章 | 申请（专利权）人： | 旭晖应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体以及形成于遮罩板体一侧或两侧的蚀刻构造，蚀刻构造具有至少一图案化蚀刻槽，遮罩板体于图案化蚀刻槽沿着板厚方向的侧边具有板体基部，其中，通过遮罩板体单一侧或两侧的蚀刻构造的图案化蚀刻槽中形成图案化肋部，或是利用遮罩板体两侧形成对称或不对称的蚀刻构造，使板体基部位于遮罩板体的板厚中的中间位置等，使金属遮罩不改变遮罩板体厚度的条件下，有效地提升其机械强度，且具备改善镀膜制造方法粘片的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 | ||
【主权项】：
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