[发明专利]接触式柔性传感器有效
| 申请号： | 201910589788.7 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110160439B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;陈毅豪;刘鑫 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01L1/14 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种接触式柔性传感器，包括：柔性应变传感模块，柔性应变传感模块包括第一应变传感器和压力传感器，第一应变传感器和压力传感器以薄膜的形态集成在同一衬底上；第一应变传感器，用于根据被测对象的形变产生第一信号；压力传感器，用于根据被测对象受到的压力产生第二信号；第一应变传感器和压力传感器还形成信号处理模块，信号处理模块能够分别对第一信号和第二信号进行信号处理，得到处理后的第一信号和处理后的第二信号。本公开实施例既可以实现传感功能，又可以实现信号自处理功能，大大简化了信号处理部分的繁复程度，实现了传感与信号处理的集成。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 应变传感器 第二信号 信号处理 信号处理模块 应变传感模块 柔性传感器 被测对象 接触式 处理功能 传感功能 压力产生 形变 衬底 传感 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种接触式柔性传感器，其特征在于，包括：柔性应变传感模块，所述柔性应变传感模块包括第一应变传感器和压力传感器，所述第一应变传感器和压力传感器以薄膜的形态集成在同一衬底上；/n所述第一应变传感器，用于根据被测对象的形变产生第一信号；/n所述压力传感器，用于根据被测对象受到的压力产生第二信号；/n所述第一应变传感器和所述压力传感器还形成信号处理模块，所述信号处理模块能够分别对所述第一信号和所述第二信号进行信号处理，得到处理后的第一信号和处理后的第二信号；/n其中，所述柔性应变传感模块包括：依次设置在所述衬底上的第一金属层、电介质层和第二金属层；/n所述第一金属层包括第一电极；/n所述第二金属层包括第二电极、所述第一应变传感器；/n所述第一电极，以及分别与所述第一电极相对的所述电介质层和所述第二电极，形成所述压力传感器；/n所述衬底能够与被测对象的待测部位的表面贴合，以使所述柔性应变传感模块贴合在所述被测对象的待测部位的表面上；/n所述衬底、所述第一金属层、所述电介质层以及所述第二金属层均采用柔性材料制成；/n所述第一金属层还包括第二应变传感器；/n所述第二应变传感器，用于根据被测对象的待测部位的形变产生第三信号，以使外部电路根据所述第三信号，对所述处理后的第一信号进行温度解耦处理。/n
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