[发明专利]半导体结构及其制造方法、存储器在审
申请号: | 201910590955.X | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN112185929A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 刘志拯 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体结构及其制造方法、存储器,半导体结构包括:衬底;下电极层,所述下电极层位于部分所述衬底上;绝缘介质层,所述绝缘介质层位于所述下电极层上,且所述绝缘介质层暴露出部分下电极层表面;上电极层,所述上电极层位于所述绝缘介质层上,所述上电极层、所述绝缘介质层以及所述下电极层构成反熔丝电容。本发明有利于改善半导体结构的电学性能。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 存储器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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