[发明专利]一种Micro-OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法在审
| 申请号： | 201910595662.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110174414A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王世锐;林志阳 | 申请（专利权）人： | 厦门特仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro‑OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法。其中，光学检测设备包括检测系统、控制系统和显示系统；检测系统包括过滤器，过滤器与光学检测暗室连接，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD；分光式光谱仪与三轴运动模组连接；光学检测暗室的底侧设置有探针台；检测系统与控制系统信号连接，控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块。本发明首次提供了一种Micro‑OLED产品光学检测设备配合测试方法能够对Micro‑OLED晶圆片进行检测，具有检查分辨率高，测试效力可达到平均3‑4秒/die，设备可靠性和稳定高，在Micro‑OLED产品的光学检测上具有重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 光学检测设备 光学检测 检测系统 晶圆片 过滤器 光谱仪 控制系统 暗室 分光 检测 电气控制模块 控制系统信号 半导体检测 设备可靠性 测试 工业电脑 三轴运动 显示系统 控制柜 探针台 分辨率 模组 应用 配合 检查 | ||
【主权项】：
1.一种Micro‑OLED产品光学检测设备，其特征在于：包括检测系统、控制系统和显示系统；所述检测系统包括过滤器，所述过滤器与光学检测暗室连接，所述光学检测暗室四周设置有外框，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD图像控制器；所述分光式光谱仪与三轴运动模组连接；所述光学检测暗室的底侧设置有探针台；所述检测系统与所述控制系统信号连接，所述控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块；所述检测系统与显示系统信号连接。
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