[发明专利]控制装置、曝光装置、以及制造物品的方法有效
| 申请号： | 201910596648.2 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110687756B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 栗原孝史 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了控制装置、曝光装置、以及制造物品的方法。本发明提供了一种用于执行同步控制的控制装置，所述同步控制用于同步第二移动部件的驱动以便跟随第一移动部件的驱动，所述控制装置包括前馈控制系统，所述前馈控制系统包括计算器，所述计算器被配置为获得彼此同步地驱动所述第一移动部件和第二移动部件时所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差、以及所述第二移动部件的输入/输出响应，并且基于所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差以及所述第二移动部件的输入/输出响应计算前馈操纵变量，所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差是从所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差获得的。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 曝光 以及 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于执行同步控制的控制装置，所述同步控制用于同步第二移动部件的驱动以便跟随第一移动部件的驱动，所述控制装置包括：/n反馈控制系统，所述反馈控制系统被配置为对所述第一移动部件和第二移动部件中的每一个执行反馈控制，以减小与目标位置的位置偏差；以及/n前馈控制系统，所述前馈控制系统被配置为通过向所述第二移动部件提供前馈操纵变量来执行前馈控制，以减小在所述反馈控制被执行的状态下所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差，/n其中，所述前馈控制系统包括计算器，所述计算器被配置为获得彼此同步地驱动所述第一移动部件和第二移动部件时所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差、以及所述第二移动部件的输入/输出响应，并且基于所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差以及所述第二移动部件的输入/输出响应计算所述前馈操纵变量，所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差是从所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差获得的。/n
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