[发明专利]曝光装置及曝光加工方法

摘要

本发明涉及一种曝光装置及曝光加工方法，该曝光装置包括激光输出模块、曝光镜头、载台、移动机构和控制模块，激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至曝光镜头，曝光镜头包括多个调光通道，多个调光通道通过选择性地开闭，形成曝光图案；载台上设有能量检测模块，能量检测模块能够检测曝光镜头的曝光能量；控制模块用于根据曝光能量调整激光输出模块的输出功率；当曝光镜头相对载台移动并对载台上的工件进行曝光时，控制模块调整曝光图案。本发明的曝光装置及曝光加工方法，能量检测模块检测并通过控制模块对激光输出模块调控，并采取移动曝光的方式对工件进行大幅面曝光，确保曝光能量一致，提高曝光效果，且无需多套光路组合，降低了成本。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，包括：激光输出模块，用于输出激光束；曝光镜头，所述激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至所述曝光镜头，所述曝光镜头包括多个呈矩形点阵布置的调光通道，多个所述调光通道通过选择性地开闭，形成入射至工件的曝光图案；载台，用于承载所述工件，所述载台上设有能量检测模块，所述能量检测模块能够检测所述曝光镜头的出射光束的曝光能量；移动机构，用于驱使所述曝光镜头与所述载台相对运动；控制模块，用于根据所述能量检测模块所检测的曝光能量调整所述激光输出模块的输出功率；当所述曝光镜头相对所述载台移动并对所述载台上的工件进行曝光时，所述控制模块能够控制所述曝光镜头的所述调光通道选择性地开闭，以调整所述曝光图案。