[发明专利]易挥发液态化学品供应系统及供应方法在审
| 申请号： | 201910607638.4 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN112174082A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 曲利国;叶剑虹 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/06 | 分类号： | B67D7/06;B67D7/16;G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法，系统包括：供应槽；化学品输入管路，用于向供应槽输入化学品，其设有开关控制阀；液位侦测器，用于在侦测到化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；重量侦测器，用于在侦测到化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；供应管路，用于将化学品供应至机台。本发明的易挥发液态化学品供应系统具有双重安全保障，只要液位侦测器和重量侦测器的其中一路控制信号正常，即可保证化学品及时切断供应，极大的降低了安全风险。本发明的重量侦测器校正方便、更换简单，可大大缩短机台停用时间。 | ||
| 搜索关键词： | 挥发 液态 化学品 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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