[发明专利]一种阳极组件及其应用在审
| 申请号： | 201910608394.1 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110257886A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·贺·汪 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D3/38 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;何敏清 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阳极组件及其应用。所述阳极组件包括导电基体和设于所述导电基体上的阳极本体，所述导电基体的表面具有保护层。通过在导电基体表面设置保护层，有效避免了导电基体在电镀过程中由于发生氧化和钝化导致电阻发生变化，提高了电路电流分布的均匀性和电镀工艺的稳定性，从而提高了电镀工件电镀层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 导电基体 阳极组件 保护层 均匀性 导电基体表面 电镀工件 电镀工艺 电路电流 阳极本体 电镀 电镀层 电阻 钝化 应用 | ||
【主权项】：
1.一种阳极组件，其特征在于，所述阳极组件包括导电基体和设于所述导电基体上的阳极本体，所述导电基体的表面具有保护层。
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