[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置

摘要

本发明公开了一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆，提拉杆底部通过支架分别安装有横向夹持器和纵向夹持器，籽晶的侧面和顶面分别与横向夹持器和纵向夹持器固定连接；所述横向夹持器包括第一外壳，第一外壳内固定有第一内套，第一外壳上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆，第一内套上设置有与第一锁止螺杆相配合的通孔，第一锁止螺杆的底部固定有压盘，籽晶位于第一内套内的部分的表面设置有与压盘相配合的滑槽；所述纵向夹持器包括两个通过第二锁止螺杆连接的第二外壳，第二外壳内侧设置有卡槽，籽晶位于第二外壳内的部分的表面设置有与卡槽相配合的凸缘。本发明能够改进现有技术的不足，提高对于籽晶的保护效果。

主权项

1.一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆（1），其特征在于：提拉杆（1）底部通过支架（2）分别安装有横向夹持器（3）和纵向夹持器（4），横向夹持器（3）位于纵向夹持器（4）的下方，籽晶（5）的侧面和顶面分别与横向夹持器（3）和纵向夹持器（4）固定连接；所述横向夹持器（3）包括第一外壳（6），第一外壳（6）内固定有第一内套（7），第一外壳（6）上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆（8），第一内套（7）上设置有与第一锁止螺杆（8）相配合的通孔（9），第一锁止螺杆（8）的底部固定有压盘（10），籽晶（5）位于第一内套（7）内的部分的表面设置有与压盘（10）相配合的滑槽（11）；所述纵向夹持器（4）包括两个通过第二锁止螺杆（13）连接的第二外壳（12），第二外壳（12）内侧设置有卡槽（14），籽晶（5）位于第二外壳（12）内的部分的表面设置有与卡槽（14）相配合的凸缘（15）。